展会回顾 | 轻蜓光电超高精度3D智能光学检测设备闪耀CSEAC

2024年9月25日至27日,半导体设备与核心部件展示会(CSEAC)在无锡太湖国际博览中心举办。作为行业内的重要盛会,本届CSEAC设立了五大展区,横跨六个展馆,占地六万平方米,超过1000家企事业单位参展,共同展示前沿技术成果和创新解决方案。

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轻蜓光电此次携超高精度2D+3D光学检测设备亮相展会,吸引了众多现场观众前来交流与咨询。

640 (1)随着半导体市场的快速发展,对检测技术的要求日益提高。轻蜓光电依托高速、高精度的3D成像系统和工业级深度神经网络算法等核心技术,成功应对了这一挑战。轻蜓光电的AOI设备集智能化、自动化、信息化与高精度于一体,确保产品品质卓越。目前,轻蜓光电已向多家行业龙头客户供货,并形成了一系列成熟的解决方案。

本次展会,针对半导体后道封测Die Bond和Wire Bond后Die表面缺陷检查,以及金线键合后的焊点和金线缺陷检测,轻蜓光电展出了高精度2D+3D量检测三光AOI设备 Weber-G3300A;针对半导体先进封装晶圆切割前后Die表面缺陷、切割道缺陷及RDL缺陷检测、Bump高度及共面性量测,轻蜓光电展出了晶圆级2D+3D量检测设备 Spectra-Wafer

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 Weber-G3300A



  • 多重聚焦融合技术,可稳定还原 0.6 mil 金线三维形貌

  • 配置 6500W 高速相机,像素分辨率高达 1.6 μm

  • 业内领先的 AI 2.0 检测算法软件简单易用,集成自动编程功能

  • 设备可检测碰线、塌丝、甩丝、断丝、漏焊、重焊、焊线高度、线线距离、沾污、划伤、异物、偏移、转角、翘片、有无、贴错芯片、崩边、崩角、多胶、少胶、爬胶高度……


 Spectra-Wafer



  • 晶圆表面脏污,残胶,划痕,切割道缺陷以及RDL缺陷检测

    -  支持明场、暗场、Photolumination、透射多种照明方式

    -  业内领先的 AI 2.0 检测算法

  • 整面晶圆 Bump 高度及共面性量测

    -  高速、高精度的 Bump 高度量测系统

  • 与各大院所和大型企业深度合作,定制开发

通过持续的技术创新和产品优化,轻蜓光电致力于为电子半导体行业提供超高精度的3D智能光学检测设备,推动我国集成电路装备业高速、高质量发展。轻蜓光电期待与各位合作伙伴在下一届的CSEAC上再次相聚,共同见证更多创新成果!

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